求助场发射扫描显微镜的问题：测试样品变黑像烧掉一样，为什么
我的样品是二氧化钛薄膜，载体用的是一般的载玻片，高温600℃煅烧成晶型后，做场发射扫描电镜的时候，电子束打上去变成黑的，像是烧掉了一样，怎么回事啊？做二氧化钛膜之前的模板用的高分子聚合物：聚苯乙烯微球，做场发射的时候也是电子束打上去变成黑的，像是烧掉了一样....高人解释一下，怎么回事？高分子的物质经过电子束一打就很容易塌陷并变黑，因为电子束的能量过高，致使打过区域物质分解，而且你的只是薄膜，基材还是不导电的物质，即使上面是导电的薄膜，但是电子经过一层不导电的物质，其电子还是无法流出去形成通路。避开这些不导电的物质和高分子材料，如果还变黑的话，那就有可能是你的镜头已经积碳了。
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