X射线光电子能谱分析（XPS）
本帖旨在为徘徊在材料学大门之外的小白介绍一种常见的表面分析方法，不详尽或是不正确的地方，欢迎大家批评指正。名称：X射线光电子能谱技术（X-Ray Photoelectron Spectroscopy）；
简称：XPS；
原理：用单色的X射线照射样品，使得具有一定能量的入射光子同样品相互作用，光致电离产生了光电子，这些光电子从产生之处运输到表面，克服逸出功而发射，这便是光电子发射的三步过程。用能量分析器分析光电子的动能，得到的就是X射线光电子能谱。
应用：根据溢出光电子的动能，能够分析材料的成分和化学态（定性、定量）。
仪器比较：与常用的表面成分分析仪器相比，XPS，获得的化学信息更丰富，对样品的损伤也最轻微。其照射面比较大，不适于进行微区的成分分析。
希望对大家有所帮助。
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