扫描电镜做样本表层的信息分析
扫描电镜可以做样本表层的信息分析， 取决于检测器的检测角度， 可以得到形貌信息或者纯表层信息， 深度10到15 纳米。关于成分信息可以更深， 取决于样本本身性质以及电镜参数的选取， 像大家熟知的加速电压和工作距离等等。
关于制样， 扫描电镜几乎没有什么要求， 可能最大的在于样本的体积和质量是否适合放在样本台上， 还有正是因为这个原因，来自样本的污染是扫描的一大问题。
扫描的优势除了样本外，还有可以做超大景深。
扫描不能做的是高能量的样本穿透， 就像以上所将的内部结构信息。
扫描可以做一定范围内的夹杂物信息， 利用的是STEM技术， 以低能的扫描电子束穿透样本以发现夹杂物。
透射的分辨率要高出扫描，由于发射源的高能量特征， 光路的色差可以被大大地降低，由此提高了分辨能力， 这是扫描做不到的。
由此也导致了透射制样的高度复杂性。
最佳解决方案是扫描加透射。
扫描加透射,费用就上去了……
页:
[1]