semtem 发表于 2011-12-1 19:36:20

扫描拍照操作过程

1、      接通电源,打开电镜主机上的开关(开关有三个档,第一档为关闭,第二档开启,第三档为启动)启动的时候把钥匙放在第三档大约两秒钟松手,电镜启动,钥匙自动回到第二档(回到第二档的原因是防止突然断电,又突然来电)。
2、      打开电脑。
3、      打开电脑桌面上的电镜操作软件(打开软件电镜真空泵会自动工作,开始抽电子枪与样品室内的空气。此时软件上的“HT”为灰色,真空抽完之后,“HT”会变成蓝色)
4、      点操作界面的Sample,选择“Vent”(此时电镜主机上的“放气”指示灯开始闪烁,停止闪烁为工作完成),调正“Staqe”中的“Z”轴为40mm以上(“Z”轴最大位置为80mm),打开样品室,取出样品台(注意:在取样品台时手不得接触二次电子探头和背散射探头),固定样品(样品要确保良好的导电性),完成后再抽真空,点击Sample中的“Evac”,真空泵开始工作,当“HT”变为蓝色,抽真空完成。
5、      确定工作电压与工作距离(工作电压“Acc.volt”一般为30KV,工作距离“WD”一般为10mm,束斑Spotsize一般为30,工作模式Signal:二次电子SEI和背散射BEW,真空模式Vac.mode:HV和LV)在确定工作电压和工作距离时,不用看原来的数值是多少都要重新指定。
6、      点击“HT”打开高压,“HT”变为绿色。
7、      打开“Staqe”通过调正“X、Y、T、R”四个轴向找到样品的位置,再调正“Z”轴确定样品台的位置(注意:在确定工作位置的时候要确定样品的高度。如:样品为2mm,那么Z轴的数值应调正为15mm),放大样品到模糊看不清的倍数,通过对“Z”轴的上、下位置调正样品为最清淅的位置,再放大样品到模糊看不清的倍数,再用同样的方法调正到最清淅的位置。
8、      点击“Vlew”使放大倍数回到30X,
9、      先放大到一个合适选择最佳拍照位置的倍数,选择一个最佳的拍照位置(样品表面尽量平整)
10、      旋转操作台上的放大旋钮到样品合适的放大倍数(此数值的确定跟据样品的不同而不同),氧化锌的适合放大倍数为15000X,软件上操作窗口的Soan2为被选择状态。
11、      左右旋转操作台上的聚焦旋钮,使图像到最清楚的聚焦状态。
12、      点击软件上操作窗口的Soan1,此时在观查窗口中会出现一个新窗口,此窗口中的图像同样是放大15000倍的图数(消像散调正的原侧是高倍调正,低倍拍照)在新的窗口中把图像放大到30000X(消像散放大的倍数最少是拍照倍数的2倍)。
13、      按操作台上的消像散与对比度和亮度的切换按钮,切换到消像散的位置。
14、      通过旋转旋钮调正X、Y轴上的像散(先调一个向方再调另一个方向),使图像调正为X、Y都是最清楚的位置。如像散无法调正到最清楚的位置,是因为像散已经调乱了,此时可以点软件上操作窗口的“Rest”按钮恢复到开始的位置重新校正。校正完毕后把新窗口中的图像回到拍照放大倍数。再进行聚焦调正(此时是微调)。
15、      按操作台上的消像散与对比度和亮度的切换按钮,切换到对比度与亮度调正位置。
16、      点击软件上操作窗口的Soan3,大约10秒钟观查窗口出现扫描图像,在此图像中调正对比度与亮度。如果需要观察某一个亮度下的图像,可以就击操作窗口上的:Sanp1、或Sanp2 。(对比度与亮度的最佳状态为突起的位置不刺眼,凹的位置不能太暗看不清)。
17、      点击软件上操作窗口的Soan4 。80秒后图像处理完毕。
18、      点击图像上向的“Save”保存图像。(在保存图像的时候可以选择图像显示信息和不显示)

更换灯丝及枪对中操作
一、更换灯丝:
1、      点操作界面的Sample,选择“Vent”(此时电镜主机上的“放气”指示灯开始闪烁,停止闪烁为工作完成)
2、      取下灯座外面的帽子,打开灯座。
3、      用专用工具套上山级帽,用螺丝刀螺紧专用工具外面的螺丝(用力不要太大)。
4、      用力向外拔出山级帽(注意:在放置山级帽的时候要轻拿轻放)
5、      用螺丝刀螺松山级帽上的螺钉。
6、      取出旧灯丝。
7、      用棉签带金属抛光膏擦拭山级帽内部。
8、      更换新灯丝(注意:更换时要注意灯丝的正负级,在山级帽的内侧有一个突起,灯丝座有一个凹,在装入灯丝的时候一定要小心,不能使灯丝与其它物质发生碰撞)
9、      固定山级帽上的螺钉。
10、      将山级帽安装到灯座上。
11、      盖上灯座帽。
12、      点击Sample中的“Evac”,真空泵开始工作,当“HT”变为蓝色,抽真空完成。
二、枪对中
1、点击操作窗口上的“Gun”,打开枪对中操作界面。
2、点击枪对中操作界面上的“AUTO”(全自动调整)
3、调整完毕后,再调整灯丝的加电压。注意:在调整灯丝加电压的时候不要把调整到黄色心内,调整到到黄色的交点处即可)
4、打开高压
5、调整X、Y轴使图像调整最清楚的位置。
6、将束斑以10递增,到70再回到30。
7、枪对中调整完毕。
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