SEM常用的背散射电子检测器种类和比较
背散射检测器分两种，一种是固体检测器，SOLIDSTATE，利用固体硅片作SENSOR，加上前置放大器构成，一种是闪烁体加光导管加光电倍增管构成。另外检测器的安装位置也有不同，有OFFLENS和INLENS之分。
还有固定式和移动式之分。
我见过最好的就是英国KEDEVELOP公司生产的CETAURUS背散射检测器，尖端可以更换，可以变成阴极荧光探测器使用，很节省哟。
优缺点：
1，固体式的可以在检测成分的同时检测形貌，闪烁体式的也可以检测形貌，但不能同时完成。
2，OFFLENS式的操作难度较低，INLENS式的操作难度高，但成像解析度高很多，一般配合场发射电镜使用。
3，固定式的不用调节，但容易被划伤，移动式的需要调节正确位置，但被损危险性很小。
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