semtem 发表于 2011-12-21 11:19:34

使用精工原子力显微镜做电流成像的一些问题

使用精工原子力显微镜做电流成像的一些问题
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我这里有两台SPA400和环境SPA300HV.试过很多种探针,Au coated SI-DF3-A,SI-AF01-A; Pt coated Multi75E;Rh coated SI-DF3-R,但是只能在HOPG上测出I-V,我要测试的样品是“重掺杂硅超薄氧化层(DHF处理得到的)上的单分子层垂直方向导电性” 是不是探针不适合?还是样品导电性问题?形貌图也很垃圾,有没有有经验的同学,恳请赐教。



参考回答:

按照你说的情况,我觉得既然能在hopg上测量出I-V,则探针肯定是导电的,具体导电性如何,则需要看看I-V曲线,你最好能发张图上来看看;在你的样品上测得不好。我估计有以下原因:

1.扫描参数没有控制好,因为你说形貌图像也很垃圾,如果形貌图都测不好的话,电流图像自然也不会好。首先用普通模式测量,先确保形貌图正确,然后再测量导电性。

2.样品的导电性不好,或者时样品与测量电路的接触不好。此时,可以先用万用表先测量样品与测量电路的接触部分。

3.探针与样品之间的接触不好。由于针尖尖端的曲率半径很小,且镀膜的均匀性也很难保证,所以在扫描的时候,针尖与样品之间就很可能存在接触不好的情况,此时自然也就测量不到导电性。遇到这种情况,在确定针尖,样品的导电性良好的情况下,可以增大设置点,即增加针尖与样品之间的作用力,增大针尖与样品之间的接触面积,这样测量电流的时候会容易一点。

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