电子显微镜故障排除四例
电子显微镜故障排除四例Excluding Faults Through Four Examples of Electron Microscope
摘要：本文以H-600型透射电子显微镜为例, 介绍了几例故障现象、故障分析及故障排除方法.
关键词：电子显徽镜 故障分析 故障排除
Abstract: Taking H=800 electron microscope for example, this article introduces some faults appearance, faults analysis and method of faults exclusion.
Key words:Electron microscopeFaults analysisFaults exclusion
电子显微镜用高速运动的电子束作为照明源,是具有高分辨率、高放大倍数的电子光学仪器，广泛应用于材料、医学、生物等领域.
电子显微镜属于大型精密仅器，价格昂贵，出现故障后，可以等厂家来人修理，但外方在中国的维修代理人员也仅仅1, 2个人，将会有很长的周期，降低了使用率，造成资源的浪费.有一些故障经过分析，是可以自己排除的.
我单位于1982年从日本引进一台日立H-600型分析电镜,经多年使用,其性能和工作状态一直较好。因长时间使用,部分元器件损坏而出现一些故障,如集成块、三极管、继电器等造成内部击穿、断路、触点熔脱等致使电镜不能正常工作。
例1:
故障现象:
对照相室抽真空时，机械泵RP-3有较大的异常响声.
例2:
故障现象:
底片上两个视场分割不均匀，一边是多半张，另一边是少半张，即图像分割线不在底片的中心位置.
例3:
故障现象:
更换样品后，对样品室抽真空时，在镜筒后面听到有很明显漏气的响声，并且样品室不能抽真空，指示红灯一直不熄灭.
例4:
故障现象:
底片不传送，照相室发出异常响声，曝光不能进行.
排除方法见附件
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