beyondgogo 发表于 2017-2-28 13:30:27

请问管式炉如何做CVD反应

反应是气相沉积反应，使用刚玉管式炉烧结，所用坩埚是不是要盖紧盖子？否则气相会被惰性气体吹走，但是普通的坩埚盖管用吗？谢谢大神！
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