扫盲丨扫描电镜的应用和发展
本帖最后由 小柒啊 于 2017-5-22 17:29 编辑扫描电镜的应用主要表现在以下几个方面：
1断口形貌观察
扫描电镜在观察断口形貌方面的优势是人们公认的，它可以直接观察断口，不需要像透射电镜那样进行复杂的样品制备，可以对断口在很宽的倍率范围内进行连续观察。即可以进行低倍的大范围扫描，又可以对某些感兴趣的区域进行高倍扫描，显示断口形貌特征，揭示机理。
2显微组织观察
扫描电镜具有比光学显微镜和透射电镜大的多的景深，所以可以获得其他显微镜无法得到的三维立体形态像，为进一步分析组成相的形成机理及其三维形态特征提供了一种有效的方法。
扫描电镜的发展主要表现在以下几个方面：
a ．提高分辨本领 现今扫描电镜的分辨本领为3～4nm ，近年来采用高亮度的场发射枪把分辨本领提高到0.6～0.7nm ，已接近透射电镜的分辨本领。场发射枪由于亮度高、交叉斑小、能量分散小、寿命长等优点。随着高真空技术的发展和场发射技术的完善，在发展高性能电镜方面，场发射枪倍受青睐。
b ．低压扫描电镜和环境扫描电镜 低压扫描电镜是指加速电压在0.5～3kV 范围内工作的扫描电镜，由于在此电压范围内一般材料的二次电子发射系数较大，接近或大于l ，故能直接观察绝缘样品，不会产生充电现象。而且电子能量小，穿透力弱，对样品的辐射损伤小。但电镜的分辨率低，图像亮度差。近年来发展的环境扫描电镜，使用压差光栏把镜筒的高真空与样品室的低真空隔离，因此样品室可在低真空-几百至上千帕下工作。样品室接近大气压的环境，故能直接观察未经脱水等处理而保持自然状态的生物样品或未经喷涂导电层的绝缘体。而且样品室可增加冷却、加热以及充气装置充入各种气体介质，实现动态观察样品的物理和化学反应。
c ．多功能化 扫描电镜除了附加多种附件扩大其应用范围外，与X 光波谱仪（WDS）或X 光能谱仪（EDS）结合，在对样品进行形貌观察的同时，可对微区范围的元素作定性和定量分析。现在扫描电镜分别与光学显微镜、超声显微镜以及扫描隧道显微镜相结合而成一种新型的显微镜。
d ．数字化和自动化 利用先进的电子技术、计算机和图像技术。实现电路全数字化、数字图像采集，存贮和处理、电镜操作和各种功能自动化。从而实现新一代自动化数字扫描电镜。
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