扫描电子显微镜之：冷却循环水机
今天有个用户问有关扫描电镜冷水机问题，他们公司电镜是日立S-4700，冷水机故障，自动停机保护。主要问一下S-4700配置什么样的冷水机问题。这个还把我难住了，不敢乱推荐。我说你们看一下原来坏了设备的铭牌，回答曰似乎是看不懂。这就没办法了，直接咨询制造商，拿个标准过来就OK了嘛！对于我们大多数人所了解的钨灯丝扫描电镜，当高真空系统使用油扩散泵，往往需要配置一台冷水机，以维持扩散泵的正常工作。专业小型冷水机由于批量小价格昂贵，（相对于同级别的空调设备），使用在实验室，大多制冷压缩机，水泵，散热风扇等集成为一体化，国产廉价冷却循环水制冷压缩机往往使用大批量生产的廉价的空调压缩机，所以噪音会很大，一般放在通风环境的隔离室，如果您的隔离室封闭的，还要加装空调散热，为此，应该配置和家用空提一样的分体式冷水机，压缩机和散热器放在室外，水循环系统在室内，但给安装带来麻烦，异地安装的分体机安装费用高。现在扫描电镜实验室如果更新扫描电镜，一般都升级配置为涡轮分子泵，冷却循环水机从钨灯丝扫描电镜实验室消失，这归功于高档风冷涡轮分子泵的使用。然而随着扫描电镜实验室进一步的升级，比如采购了场发射扫描电镜，冷水机又回来到了实验室。而这个冷水机的用途和用在油扩散泵上的有很大差别。
一般FE-SEM需要超高真空，系统配置高效清洁的涡轮分子泵，和溅射离子泵，涡轮分子泵大多为风冷，溅射离子泵有时接配循环水用于烘烤排气后的冷却。冷水机大多的用途是冷却物镜：保持物镜恒定温度，避免在强激励条件下线圈发热，引起焦距漂移；在高倍情况下，很多样品的工作距离WD往往在1-2mm范围内，避免物镜散发的热量引起样品热漂移。这样的敏感的位置，对于冷水机又哪些具体要求，最好听从制造商的意见，而不是冷水机供应商的意见。http://dn.cailiaoren.com/forum/201705/24/203815vzbt8irm3gy3kkz0.png
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