EDS数据做定量分析时，所有的峰都要先标出来。这样软件才能做最好的拟合，并且有利于发现微量元素。计算各元素含量的时候，有的软件允许排除污染元素，但实际上在计算的时候所有元素总是都参与计算的，只是最后把污染元素剔除，然后把其它元素的含量重新归一化罢了。 TEM中常见的污染元素有O，C和Cu。有时候会看到来自镜筒的Fe，Cr和来自聚光镜光阑的Pt。还可能有来自离子减薄的Ar，已经截面样品的基地材料，比如Si。你引用的那篇文献，我猜可能是SEM的EDS数据，很多的Al可能来自SEM的铝制样品台。 知道那些元素可能来自污染，自然也就知道那些元素的定量信息部可靠。比如O，测到的O含量可能是正确的，但这么多的O并不是都来自样品，所以O含量不可靠。但是那些没有污染的元素定量结果是可靠的，所以从那些元素的相互比例仍然可以确定样品的相。

恩，讲的不错！