1）AES分析是原子在X-ray、载能电子、离子或中性粒子作用下，内层电子可能获得足够能量而电离，并留下空穴。此时原子处于不稳定的激发态，当较外层的电子跃入内层空位时，原子多余能量可通过两种方式释放：一种是以X光子形式释放出来；另一种引起另一外层电子电离，从而发射一个具有一定能量的电子，即俄歇电子。通过分析俄歇电子的动能及俄歇峰强来分析材料表面信息。

AES分析时在离子枪作用下，试样表面被溅射剥离掉一层，并且试样内部俄歇电子不能逃离出来，因此可分析试样近表层信息；能够分析试样表面和界面上的少量轻元素。

2）XPS用单色X射线照射样品，具有一定能量的入射光同样品原子相互作用，光致电离产生光电子，这些光电子从产生之处输运到表面，然后克服逸出功而发射出来。根据光电子动能可以确定试样表面存在什么元素以及该元素所处的化学状态，从而进行定性分析；根据具有某种能量的光电子数量，便可知道某种元素在试样表面的含量，从而进行定量分析。

XPS分析过程中对试样不进行破坏，具有无损性特点。

1）AES分析是原子在X-ray、载能电子、离子或中性粒子作用下，内层电子可能获得足够能量而电离，并留下空穴。此时原子处于不稳定的激发态，当较外层的电子跃入内层空位时，原子多余能量可通过两种方式释放：一种是以X光子形式释放出来；另一种引起另一外层电子电离，从而发射一个具有一定能量的电子，即俄歇电子。通过分析俄歇电子的动能及俄歇峰强来分析材料表面信息。

AES分析时在离子枪作用下，试样表面被溅射剥离掉一层，并且试样内部俄歇电子不能逃离出来，因此可分析试样近表层信息；能够分析试样表面和界面上的少量轻元素。

2）XPS用单色X射线照射样品，具有一定能量的入射光同样品原子相互作用，光致电离产生光电子，这些光电子从产生之处输运到表面，然后克服逸出功而发射出来。根据光电子动能可以确定试样表面存在什么元素以及该元素所处的化学状态，从而进行定性分析；根据具有某种能量的光电子数量，便可知道某种元素在试样表面的含量，从而进行定量分析。

XPS分析过程中对试样不进行破坏，具有无损性特点。