SEM多一个EBSD，做EBSD需要配专门的附件，Oxford公司就有这种附件。看到也有称这个为电子通道技术（ECP）和选区通道图技术（SACP）。就是能得到微米级晶体的结晶进行类似TEM的结构表征，得到菊池线进行分析。

1.EBSD是独立的附件，是需要单独购买的。这里所谓的集成，不是真正意义上的集成，而是说EDAX或OXFORD的EBSD软件和其能谱软件是装在一台计算机上。EBSD需要独立的硬件，包括CCD探头、EBSP（被散射电子衍射花样）收集和处理硬件等。好处是方便使用，特别是在做物相鉴定时显得尤其方便。因为EBSD做物相鉴定原理是在一定误差范围（如RAD小于5）内将收集的EBSP和计算的EBSP进行比较来确定。此时需要用能谱收集谱线，然后根据微区成分的构成来推测可能会有几种物相以减少计算量。虽然能谱也可进行物相鉴定，但出发点不同，能谱是从原子配比关系出发的，而EBSD是从晶体结构出发的，所以能谱无法鉴定的物相可用EBSD鉴定。

2.EBSD需要物相数据库支撑。最好在购买是一并购买，别像我，自己建数据库，虽然不麻烦，但工作量还是有点大的。当然，如果工作方向主要是晶粒取向分析，则无需太多考虑这方面了。

3.另外提醒一点，EBSD分析时样品需高角度倾斜（65～70度），容易碰到SEM样品室内的探头，而且工作时EBSD的CCD探头离样品很近，所以最好SEM能配一个CCD用以观察样品室内部的情况。

4.好像有这样一种倾向，研究单位买的仪器其价格比企业等商业机构买的同一的仪器高。不知是什么原因。就像我上次向HKL要物相数据转换软件时，其技术支持人员竟然问我是用于研究机构还是商业机构，挺郁闷的。之所以提出这个问题，是提醒需要购买仪器的企业注意这点。

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