如果非用SPM做的话，那只能通过划痕试验NanoScratch来测试。
1、可以从摩擦力位移曲线上看出，摩擦力的突变点对应的纵向位移就是膜的厚度。
2、划完后再用AFM/SPM扫描成像直接看出。
不过，我还是不主张用SPM来测试膜厚。我给你推荐一款对于薄膜无损坏的测试仪器，X荧光膜厚测试仪。很不错，可以考虑试试


      SPM是可以用来测量膜厚的，比如说使用旋转成膜（spin coating）等方法成的膜，可以用很尖的针或刀片在膜表面划一道沟槽，露出基底的表面，这时候在沟槽附近扫一张AFM图像，然后做横截面分析（Section Analysis），通过比较膜上表面和基底之间的垂直距离，就可以得到膜厚了，非常精确。缺点是只能测量膜厚不超过5微米的膜。

      用划痕方法在划开区域会有卷边，所以这种方法基本不可行，测得的数据是不对的。SPM不能得到精确的膜厚，它是一个表面分析工具，所以如果要测量膜厚的话应该采用这方面专业的工具。

      用AFM刮擦法一般不能刻一条痕迹，这样在刻痕边上有强烈的卷边突起现象，可以采用刻出一个正方形的方式，利用表面分析工具，测量凹坑的深度。
一般基底较硬膜涂层较软的材料可以用这种方法。该方法不是太准确，只能作为一般定量，如果要测得比较准确的数据，建议其他测试仪器和方法，比如台阶仪（微米级），椭圆偏振片（纳米级）。

恩，受教了。