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请问管式炉如何做CVD反应

标签: 管式炉如何
反应是气相沉积反应,使用刚玉管式炉烧结,所用坩埚是不是要盖紧盖子?否则气相会被惰性气体吹走,但是普通的坩埚盖管用吗?谢谢大神!
beyondgogo

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