薄膜材料一般是在真空条件下制备，真空度的好坏同时也是衡量薄膜制备设备好坏的重要指标。今天让我们一起了解一下真空区域的划分。
低真空：100kPa-100Pa，气流特点以分子间碰撞为主，为粘滞流。
中真空：100Pa-0.1Pa，过渡区域。
高真空：0.5-10-5Pa，气体为为分子流，主要以分子与容器碰撞为主，已不能按连续流体对待。超高真空：10-5Pa-10-9Pa，分子间碰撞很少，气体分子已不在以飞行为主，而是以停留吸附为主。
极高真空：<10-9Pa，此时分子与容器碰撞也很低，气体以停留吸附为主。
我们的薄膜一般在高真空（10-4Pa），超高真空度的条件下制备的，机械泵可实现中真空（油封机械泵可实现高真空），分子泵和扩散泵可实现高真空乃至超高真空，离子泵则可实现超高真空。

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fengzi 发表于 2015-3-31 23:05
我国的实验室能达到什么高&#24 ...

超高真空可以实现

我国的实验室能达到什么高度啊？

这个太简单，可以加上如何实现这些真空度