研究方向:纳米抛光材料及原子级表面平整技术
方向介绍:随着先进电子产品性能的不断提高,许多部件表面要求达到原子级平整。化学机械抛光(CMP)是目前几乎唯一的全局平面化加工技术,广泛应用于先进电子制造行业中产品部件(如集成电路晶圆、计算机硬盘、LED蓝宝石晶片等)表面的超精密抛光。CMP研究涉及化学、机械(摩擦学)、材料、物理等多学科领域交叉。近十年来,本课题组连续7次获得国家自然科学基金的资助,课题组与企业联系也十分紧密。本方向可培养博士研究生,对该方向的研究学习可锻炼培养学生多学科专业的知识与科研能力。
要求:
欢迎具有英语六级,化学、材料等相关背景的学生,211学校、有志读博的学生优先考虑。
联系人:雷老师 021-66137104,hong_lei2005@163.com
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