场发射扫描电镜的分类
冷场： 只依靠电场发射电子，不需要对钨尖加温。

•    冷场钨尖在工作数小时后，其表面会吸附气体分子，导致电子束发射效率和稳定性大幅下降。

•    需要每天至少对钨尖加热一次以去除残留气体分子。

•    容易吸附气体分子影响电子束发射。

•    束流稳定度＞ 5%/h。

•    钨尖在室温环境下工作，发射效率低。

•    最大束流＜2nA。

•    冷场对真空度的要求比热场高一个数量级。因此不能直接更换样品，需通过气锁更换样品。

•    气锁体积小，极大限制了所观察样品的尺寸和形状。

•    更换样品过程繁琐，且样品容易掉落。

热场：在对钨尖施加电场的同时，加热钨尖至1800K，使其发射电子。

•    钨尖始终在1800K温度下工作，因此钨尖始终保持清洁状态。不用定期加热。

•    发射源不存在气体吸附现象。

•    束流稳定度＜0.5%/h。

•    钨尖始终在1800K温度下工作。发射效率更高。

•    钨尖表面沉积ZrO2，使钨尖获得最低的功函数，从而获得最高发射效率。

•    最大束流＞20nA。

•    采用抽屉式拉门可以直接更换样品，且对样品尺寸和形状限制小很多。

热场发射扫描电镜（蔡司）

SIGMA

分辨率： 1.3 nm @ 20kV

                   1.5 nm @ 15kV

                   2.8 nm @ 1kV

加速电压：0.1 - 30 kV

SUPRA40

分辨率： 1.0 nm @ 15kV

                   1.9 nm @ 1kV

加速电压：0.02-30kV

SUPRA55

分辨率： 0.8 nm @ 15kV

                   1.6 nm @ 1kV

加速电压：0.02-30kV

我们用的德国 ZEISS生产的SIGMA型热场电镜

可以到我们这来检测。自己顶一下，

邮箱caohui@sf-auto.com，

可以免费试测样品，有需要的跟我们联系！010-62961515-5609

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