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真空区域的划分

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本帖最后由 thunder17 于 2015-3-31 23:08 编辑

薄膜材料一般是在真空条件下制备,真空度的好坏同时也是衡量薄膜制备设备好坏的重要指标。今天让我们一起了解一下真空区域的划分。
低真空:100kPa-100Pa,气流特点以分子间碰撞为主,为粘滞流。
中真空:100Pa-0.1Pa,过渡区域。
高真空:0.5-10-5Pa,气体为为分子流,主要以分子与容器碰撞为主,已不能按连续流体对待。超高真空:10-5Pa-10-9Pa,分子间碰撞很少,气体分子已不在以飞行为主,而是以停留吸附为主。
极高真空:<10-9Pa,此时分子与容器碰撞也很低,气体以停留吸附为主。
我们的薄膜一般在高真空(10-4Pa),超高真空度的条件下制备的,机械泵可实现中真空(油封机械泵可实现高真空),分子泵和扩散泵可实现高真空乃至超高真空,离子泵则可实现超高真空。
thunder17

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金蘑菇 发表于 2015-6-30 09:14:18
{:4_107:}{:4_107:}{:4_107:}
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地板
thunder17 发表于 2015-3-31 23:09:10
fengzi 发表于 2015-3-31 23:05
我国的实验室能达到什么高&#24 ...

超高真空可以实现
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板凳
fengzi 发表于 2015-3-31 23:05:06
我国的实验室能达到什么高度啊?
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沙发
龙骑士 发表于 2015-3-31 22:34:49
这个太简单,可以加上如何实现这些真空度
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