1）电子显微镜中主要有SAED选区电子衍射、μ-衍射、纳米衍射、CBED会聚束衍射、EBSD背散射电子衍射五种电子衍射。

2）操作特点：

①SAED选区电子衍射采用TEM模式，利用μ级平行入射电子束照射试样，通过物镜像平面处的选区光阑选取特定区域做电子衍射，得到与选择区域对应的电子衍射花样。

②μ-衍射采用STEM模式，利用μ级针状入射电子束照射试样的固定区域，无需光阑选择成像区域，因此不存在选区衍射误差。

③纳米衍射与μ-衍射类似，主要差别在于纳米衍射的入射电子束为纳米级，体积更细小，因此能够对试样的更微小区域进行分析。

④CBED会聚束衍射采用STEM模式，入射束由平行束变为锥状会聚束，并且后焦面处得到扩展的衍射斑点（圆盘状），盘的大小与入射束的会聚角有关。因此伴随着会聚角的变化，能够获得散射电子的信息，实验过程中要避免透射盘与衍射盘相交。

⑤EBSD背散射电子衍射是入射束打到试样上形成的背散射电子发生衍射，形成衍射锥，最终获得EBSD衍射花样。

3）基本应用

①SAED选区电子衍射所选区域很小，因此能在晶粒十分细小的多晶体样品内选取单个晶粒进行分析，从而研究为研究细小单晶体结构提供了有利条件。

②μ-衍射和纳米衍射对试样微小区域进行分析，并且可以通过衍射斑点强度变化分析孪晶及变形。

③CBED会聚束衍射可用于确定晶体的对称性，试样厚度和晶格畸变等。（会聚角、点阵常数、消光距离、晶体点群、柏氏矢量、偏离矢量）

④EBSD背散射电子衍射可进行位相测定；晶界分析（特殊晶界、孪晶界、小角晶界、难腐蚀晶界等）；变形分析（晶粒尺寸重构）；物相鉴定；织构分析（定向生长机制）等。

1）电子显微镜中主要有SAED选区电子衍射、μ-衍射、纳米衍射、CBED会聚束衍射、EBSD背散射电子衍射五种电子衍射。

2）操作特点：

①SAED选区电子衍射采用TEM模式，利用μ级平行入射电子束照射试样，通过物镜像平面处的选区光阑选取特定区域做电子衍射，得到与选择区域对应的电子衍射花样。

②μ-衍射采用STEM模式，利用μ级针状入射电子束照射试样的固定区域，无需光阑选择成像区域，因此不存在选区衍射误差。

③纳米衍射与μ-衍射类似，主要差别在于纳米衍射的入射电子束为纳米级，体积更细小，因此能够对试样的更微小区域进行分析。

④CBED会聚束衍射采用STEM模式，入射束由平行束变为锥状会聚束，并且后焦面处得到扩展的衍射斑点（圆盘状），盘的大小与入射束的会聚角有关。因此伴随着会聚角的变化，能够获得散射电子的信息，实验过程中要避免透射盘与衍射盘相交。

⑤EBSD背散射电子衍射是入射束打到试样上形成的背散射电子发生衍射，形成衍射锥，最终获得EBSD衍射花样。

3）基本应用

①SAED选区电子衍射所选区域很小，因此能在晶粒十分细小的多晶体样品内选取单个晶粒进行分析，从而研究为研究细小单晶体结构提供了有利条件。

②μ-衍射和纳米衍射对试样微小区域进行分析，并且可以通过衍射斑点强度变化分析孪晶及变形。

③CBED会聚束衍射可用于确定晶体的对称性，试样厚度和晶格畸变等。（会聚角、点阵常数、消光距离、晶体点群、柏氏矢量、偏离矢量）

④EBSD背散射电子衍射可进行位相测定；晶界分析（特殊晶界、孪晶界、小角晶界、难腐蚀晶界等）；变形分析（晶粒尺寸重构）；物相鉴定；织构分析（定向生长机制）等。