一、注意事项
真空设备用油在密封条件下保质期可以达到三年; 油品应存放阴凉干燥处; 油桶打开使用后,剩余的油应盖好密封盖,同时尽快用完剩余的部分,切勿混入其他粉末和液体杂质; 环境工具应保持干净,若用溶剂清洗后应烘干使用; 根据真空泵的结构精度和使用环境,应选用相应精度品质的油品。
二、换油方法
换油最好在油温升高后进行。对泵严禁用煤油、汽油、酒精等作非拆的清洗。平时也要注意保护进气口,检查滤网,防止灰尘、杂质进入泵内,弄污泵油,损坏真空室。
如果扩散泵太脏或者油变质,都将延长达到正常工作真空度的时间,极限真空度也会恶化。这时必须清洗和换油,其步骤大致如下: (1)拆下扩散泵,取出喷咀系统,尽可能将它拆成单个零件。 (2)倒出被氧化或劣化了的油(呈褐色)。 (3)用石油醚或四氯化碳清洗喷咀系统各零件及扩散泵内壁。若油垢清洗不下来可用金属擦膏,仔细擦净(注意勿损坏金属喷口)。泵上方的水冷挡板也应洗净。 (4)装入干净的扩散泵油。注意油量一定要合适(根据说明书),太多或太少都会影咆抽气速率。 (5)重新把扩散泵装配起来。
换炉丝
扩散泵长期使用,其加热器(电炉丝)变细,阻值增大,抽气速率也会下降,这时妊须换上功率相等的合适的炉丝。
若扩散泵加热器电源电压下降,也会降低排气效率,应设法保证一定的电源电压值。
三、真空泵换油后产生问题排除方法
泵出气口有喷油现象: 油加的过多,减少油的加入量。 进气口长时间抽大气,应加以避免。
泵出气口有雾现象:检查进气口及其他部分是否有漏气 。
真空度偏低: 泵腔内及油中是否混入其他轻质液体,新换油后应适当运转一段时间;检查泵各密封部分是否有漏气现象;校对好检测仪表。
扩散泵 、油增压泵换油注意事项: 选用品质好的油品;换油时应全部倒出旧油;用溶剂汽油或专用清洗剂清洗泵内全部零件,并用丙酮或乙谜擦干,放在烤箱中烘干,也可用吹风机吹干;按原来部位安装好泵内外零件,喷嘴应在泵腔中部; 操作者应手戴白纱脱脂手套装配,按要求量倒入扩散泵油或增压泵油。
扩散泵使用中产生的问题及排除方法: 真空度偏低: 检查前级真空; 检查冷却水是否畅通,水温是否偏高; 冷却水管有没有部分堵塞; 电炉丝功率偏大或偏小; 供电电压是否偏低; 各喷油嘴装配不正确; 规管测量不准确; 仪表或导线不正常; 真空系统是否漏气;工作室经长期使用残留镀层是否太厚;
由操作不当引起的油品很快氧化,即变红或变黑: 检查工作是是否忘记打开冷水; 真空系统存在较严重漏气; 扩散泵在工作时大气进入了扩散泵内;工作室内有可挥发气体或灰尘进入泵腔内。
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