20世纪90年代以来，装配在SEM上的电子背散射花样(ElectronBack-scattering Patterns，简称EBSP)晶体微区取向和晶体结构的分析技术取得了较大的发展，并已在材料微观组织结构及微织构表征中广泛应用。该技术也被称为电子背散射衍射(ElectronBackscattered Diffraction，简称EBSD)，EBSD技术的应用领域集中于多种多晶体材料--工业生产的金属和合金、陶瓷、半导体、超导体、矿石等各种领域

能谱仪(EDS,EnergyDispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。

以下是对EBSD以及EDS的常见问题的介绍。

20世纪90年代以来，装配在SEM上的电子背散射花样(ElectronBack-scattering Patterns，简称EBSP)晶体微区取向和晶体结构的分析技术取得了较大的发展，并已在材料微观组织结构及微织构表征中广泛应用。该技术也被称为电子背散射衍射(ElectronBackscattered Diffraction，简称EBSD)，EBSD技术的应用领域集中于多种多晶体材料--工业生产的金属和合金、陶瓷、半导体、超导体、矿石等各种领域

能谱仪(EDS,EnergyDispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。

以下是对EBSD以及EDS的常见问题的介绍。