扫描电镜操作，最简单，但最重要的操作就是聚焦-Focus. 正确聚焦是调节其他相关参数的基础。很多情况下，不能正确的聚焦，造成图像不清。

自动聚焦可以解决不能正确聚焦问题，实际上是错误的理解，有时也被某些人用来引导暗示客户，这往往成为忽悠人的一种策略。扫描电镜自动聚焦很多情况下是粗聚焦。总之手动聚焦不清楚，自动一定不会清楚。

下面主要介绍手动聚焦, 当然也是最精细的聚焦。

首先，扫描电镜是齐焦系统，即高倍正确聚焦，降低放大倍数，焦点不会改变。因此使用尽可能可识别的高倍聚焦操作是快速的正确聚焦方法。因为，高倍情况下焦深变小，对聚焦的正确与否，反应更灵敏。

其次，要消除象散。象散的存在，往往会干扰正确聚焦。判断象散，需要较为丰富的图像细节，而象散现象又不被图像干扰，才是好的聚焦点。

如果把象散在拉伸时的位置看做正确聚焦点，再进行象散矫正，图像会更模糊。

再次，高倍高分辨成像，往往受限于信噪比差。反差小的细节，将被噪音覆盖，这时候要找到小反差基本等高的大反差部位作为聚焦点。也可以加大束斑尺寸，使用较高的SPOT值，获得比较良好的信噪比，在低分辨条件下对小反差样品进行聚焦消除象散操作，最后获得正确聚焦，然后再把SPOT值降低，获得高分辨的正确聚焦。改变SPOT值，如果无WD补偿机制，图像将不再正确聚焦

最后，在高倍正确聚焦情况下，将放大倍数降低到想要的放大倍数，自然可以看清同一个高斯焦面上下一定景深的所有的形貌。如下图低倍图像。

需要说明，扫描电镜成像有多重缺陷，其中荷电严重部位，有边缘效应严重部位，不适合作为正确聚焦调节点

扫描电镜操作，最简单，但最重要的操作就是聚焦-Focus. 正确聚焦是调节其他相关参数的基础。很多情况下，不能正确的聚焦，造成图像不清。

自动聚焦可以解决不能正确聚焦问题，实际上是错误的理解，有时也被某些人用来引导暗示客户，这往往成为忽悠人的一种策略。扫描电镜自动聚焦很多情况下是粗聚焦。总之手动聚焦不清楚，自动一定不会清楚。

下面主要介绍手动聚焦, 当然也是最精细的聚焦。

首先，扫描电镜是齐焦系统，即高倍正确聚焦，降低放大倍数，焦点不会改变。因此使用尽可能可识别的高倍聚焦操作是快速的正确聚焦方法。因为，高倍情况下焦深变小，对聚焦的正确与否，反应更灵敏。

其次，要消除象散。象散的存在，往往会干扰正确聚焦。判断象散，需要较为丰富的图像细节，而象散现象又不被图像干扰，才是好的聚焦点。

如果把象散在拉伸时的位置看做正确聚焦点，再进行象散矫正，图像会更模糊。

再次，高倍高分辨成像，往往受限于信噪比差。反差小的细节，将被噪音覆盖，这时候要找到小反差基本等高的大反差部位作为聚焦点。也可以加大束斑尺寸，使用较高的SPOT值，获得比较良好的信噪比，在低分辨条件下对小反差样品进行聚焦消除象散操作，最后获得正确聚焦，然后再把SPOT值降低，获得高分辨的正确聚焦。改变SPOT值，如果无WD补偿机制，图像将不再正确聚焦

最后，在高倍正确聚焦情况下，将放大倍数降低到想要的放大倍数，自然可以看清同一个高斯焦面上下一定景深的所有的形貌。如下图低倍图像。

需要说明，扫描电镜成像有多重缺陷，其中荷电严重部位，有边缘效应严重部位，不适合作为正确聚焦调节点