semtem 发表于 2011-12-10 09:48:05

EDS的简单做法

首先电镜状态调好,找到你需要做EDS的位置,选择合适束斑尺寸和强度,插入EDS探头开始收集谱峰,如果是在STEM下就更方便了。

在TEM模式下将要进行EDS分析的区域放在荧光屏中心的黑点处,切换到EDS模式后先做一下EDS模式下的合轴,然后将束斑移到荧光屏的中心,采谱即可。

TEM模式切换到EDS后,用shiftx-y将束斑移到荧光屏中心。调节Brightness将电子束散开,在样品边缘找一个特征点,按下HT wobbler,调整DEF x-y使束斑同心扩大缩小。

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