首先电镜状态调好，找到你需要做EDS的位置，选择合适束斑尺寸和强度，插入EDS探头开始收集谱峰，如果是在STEM下就更方便了。

在TEM模式下将要进行EDS分析的区域放在荧光屏中心的黑点处，切换到EDS模式后先做一下EDS模式下的合轴，然后将束斑移到荧光屏的中心，采谱即可。

TEM模式切换到EDS后，用shiftx-y将束斑移到荧光屏中心。调节Brightness将电子束散开，在样品边缘找一个特征点，按下HT wobbler，调整DEF x-y使束斑同心扩大缩小。

首先电镜状态调好，找到你需要做EDS的位置，选择合适束斑尺寸和强度，插入EDS探头开始收集谱峰，如果是在STEM下就更方便了。

在TEM模式下将要进行EDS分析的区域放在荧光屏中心的黑点处，切换到EDS模式后先做一下EDS模式下的合轴，然后将束斑移到荧光屏的中心，采谱即可。

TEM模式切换到EDS后，用shiftx-y将束斑移到荧光屏中心。调节Brightness将电子束散开，在样品边缘找一个特征点，按下HT wobbler，调整DEF x-y使束斑同心扩大缩小。