JEOL和FEI的STEM球差矫正比较
JEOL的球差矫正和FEI侧重点不同,FEI主要侧重于物镜球差矫正,JEOL的球差注重于聚光镜矫正以达到STEM的高分辨像。原因很简单:STEM像是真实像,所见即所得,很容易解释,因STEM的高分辨像基本反应了原子的真实位置。而普通透射电镜高分辨像(包括物镜球差矫正)主要是利用透射束和衍射束相干成像,像的解释比较复杂(再球差矫正,分辨率再高,也一定是原子的真实位置)。因此从这个意义上讲,如果可以很轻松的得到STEM像,那么得到的TEM模式下的像还有意义吗?JEOL的球差电镜代表了以后电镜发展的方向,那就是以后电镜可能就不叫TEM了,有可能该叫STEM了。
FEI的pico是双球差校正的,不过很贵。不加聚光镜消球差下STEM也可以做到1.4埃,对绝大多数材料还是够用的。有些信息是STEM无法提供的,比如说准确的原子位置信息,另外还有一直“炒作”的氧原子。如果真要定量解释STEM结果,还得小心汇聚角,收集角,应变衬度等问题。感觉JEOL很杂,并不有所谓侧重。主推旗舰机型2200FS或者2200MCO,将单色器,双球差校正,omega filter一股脑儿堆上面,镜筒还是那个200 kV的镜筒,对振动啥的要求可是比Titan 300kV镜筒高不少,而且没有pico那种house in house设计。现在专心做STEM的是日立以及Nion,他们用的是Krivanek那套设计。Zeiss的SESAM就比较厉害,可以玩不少花活,不过它的设计很异型。
总之呀,尽管TEM解释起来很烦,但是它有同时采集这个优点就足够了。TEM和STEM都是技术嘛,肯定有自己的局限性。
好像德国人比较喜欢球差校正高分辨方面的工作,美国人和英国人偏重STEM一些,所以他们用日本电子电镜的比较多点吧。感觉的,没有太多根据啊。国内好像受Jülich的印象比较大点吧!
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