制备薄膜的方法大概可以分为两类：物理气相沉积以及化学气相沉积。两者相比由于物理气相沉积的膜基结合力较强，因此受到的关注较多。而物理气相沉积大多（这里主要指的是磁控溅射和离子镀）需要在沉积室内放电，在空间中形成等离子体。等离子的运动对于膜层的质量很有影响。因此了解等离子的的形成以及其在电磁场中的受力行为十分必要。这本等离子体物理基础共包括八章内容，希望对你有所帮助。
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