等离子体物理基础

thunder17

本帖最后由刘沐于 2015-3-25 19:52 编辑

制备薄膜的方法大概可以分为两类：物理气相沉积以及化学气相沉积。两者相比由于物理气相沉积的膜基结合力较强，因此受到的关注较多。而物理气相沉积大多（这里主要指的是磁控溅射和离子镀）需要在沉积室内放电，在空间中形成等离子体。等离子的运动对于膜层的质量很有影响。因此了解等离子的的形成以及其在电磁场中的受力行为十分必要。这本等离子体物理基础共包括八章内容，希望对你有所帮助。
回复本帖即可下载资料：

游客，如果您要查看本帖隐藏内容请回复

材料人网最近成立了薄膜材料交流群，群号433091058，欢迎与薄膜相关的或者感兴趣的你加入！

Alant · 发表于 2015-4-11 20:55:11

清塘荷韵 · 发表于 2015-4-15 21:32:31

感谢感谢，楼主辛苦额

金蘑菇 · 发表于 2015-6-30 09:09:18

谢谢分享

{:4_107:}

toa · 发表于 2018-11-28 13:33:13

kmr2018 · 发表于 2020-11-10 10:21:47

kingandking · 发表于 2021-9-6 20:15:46

感谢

等离子体物理基础

评论