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一种有效的晶体材料微观分析方法——EBSD

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大约在15年前出现了背散射电子衍射(EBSD,Electron Backscattered Diffraction)分析技术,而观察到背散射电子衍射现象则更早。

当时这种技术主要应用于揭示金属材料的形变,特别是再结晶过程织构的形成机制,并作为区分再结晶过程择优形核还是择优生长的有效实验手段,而且最早只能进行单个晶粒取向的测定。

在计算机运算速度大幅度提高,特别是实现利用Hough变换自动识别衍射菊池带后,在测定单个晶粒取向的基础上便发展成了一种新的图像分析技术,即取向成像(Orientation Mapping)。由于取向的采集要依赖扫描电镜,因此这种技术也称之为取向成像显微术(Orientation Imaging Microscopy,简称OIM)。

semtem

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