制备大块非晶Si为什么采用液相法，而不采用气相法？

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气相沉积主要用来做薄膜，做不了大块。我觉得是这个理由

sky 发表于 2013-12-10 10:37
气相沉积主要用来做薄膜，做不了大块。我觉得是这个理由

嗯嗯，谢谢！