等离子增强磁控溅射（PEMS）简介

thunder17

本帖最后由刘沐于 2015-4-19 15:55 编辑

今天，楼主为大家介绍一种近十年来兴起的物理气相沉积技术，等离子增强磁控溅射（Plasma enhanced magnetron sputtering），在以前的文章中，曾为大家介绍过磁控溅射这种薄膜制备方法，如果你错过了该内容，请单击here。等离子增强磁控溅射与传统磁控溅射相比，无非是在其基础上加入一个外加灯丝（filament）用以增加空间中的电子密度。只是一点小小的改进，但其效果是巨大的，据美国西南研究所魏荣华（Ronghua Wei）介绍，使用PEMS技术可是电流密度提高20倍，这意味着电子对于空间中的惰性气体的离化作用更加明显，空间中的等离子体密度极大增强，沉积速度以及薄膜与基体的结合力（膜基结合力）显著增强，可用来制备厚膜（＞40μm）。
下面是一篇魏荣华所著关于传统磁控溅射与等离子增强磁控溅射的比较的文章。
下载地址：

游客，如果您要查看本帖隐藏内容请回复

如果你对薄膜材料感兴趣，欢迎加入材料人薄膜材料交流群，群号：433091058

壮壮 · 发表于 2015-4-8 23:36:29

lzguoqing · 发表于 2015-4-9 00:31:09

很感兴趣！看看，学习中....................

清塘荷韵 · 发表于 2015-4-15 21:14:03

三克油，辛苦了，谢谢

Alant · 发表于 2015-4-18 16:37:31

刘沐 · 发表于 2015-4-19 15:55:05

{:4_107:}

金蘑菇 · 发表于 2015-6-30 09:01:58

值得好好看看，谢谢楼主分享！

御驾亲征 · 发表于 2015-7-27 15:24:51

谢谢楼主，辛苦。

航行的MINI · 发表于 2015-11-2 12:01:00

有新的东西？？？nice

jerryxu · 发表于 2018-1-29 13:49:26

非常棒

等离子增强磁控溅射（PEMS）简介

评论