离子镀相比于其他PVD方法具有极为明显地优势，但大颗粒的产生却严重影响膜层的质量及使用性能，因此对于大颗粒的研究 从上世纪70年代开始便没有间断过。其中Boxman在大颗粒去除方面做了很多工作，此次笔者为大家分享一篇Boxman的高引用文章。下载地址：

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