1、田民波，薄膜技术与薄膜材料，清华大学出版社，2006
2、M.Ohring，薄膜材料科学（第2版影印本），世界图书出版公司，2006
3、杨帮朝，薄膜物理与技术，电子科技大学出版社，2006
4、戴达煌，现代表面技术科学，冶金工业出版社，2004
5.郑伟涛：薄膜材料与薄膜技术（第2版）， 化学工业出版社，2008

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楼主这么厉害