一：什么是溅射

1852年首次被 Grove 在对辉光放电的研究中发现溅射现象。一定温度下，固体或液体受到高能离子轰击时，其中的原子有可能通过与高能入射离子的碰撞获得足够能量而从表面逃逸，这种从物质表面发射原子的方式被称为溅射，溅射理论基础是碰撞理论。

   

离子与固体表面的溅射现象

二：溅射基本过程：

（1）自由电子被电场加速飞向阳极，与路遇的放电气体（通常是惰性气体氩气）分子碰撞，使之失去外层电子而电离，并释放出Ar+和由电子。

（2）Ar+受到电场加速飞向置于阴极的靶材，撞击出靶材原子，以及二次电子，使自由电子数增加。

（3）电子在飞行过程中，还可能与Ar+相撞，使之恢复中性状态，但此过程中电子由激发态回到基态，需要放出能量，这部分能量以发射光子形式释放。因有大量光子释出，放电形成的等离子体出现发光现象，这就是所谓的“辉光”放电。

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好厉害！！！！！！

一直没真正明白

好图，比课本的更生动

回复一个，回火后

不错啊

学习学习，毕竟我也是搞磁控溅射的

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真心不错，磁控溅射不好理解，这个很基础