扫描电镜的基本结构

扫描电镜大体上由三大系统组成：即电子光学系统、信息接收显示系统和真空系统。这和透射电镜类似，但有两个独特的部件——扫描系统和信号接收系统。
扫描系统可以使电子束作光栅扫描运动。由于加到显像管偏转线圈上的锯齿波信号与加到扫描线路上的锯齿波信号是由同一个信号发生器产生的。即镜筒内电子束的偏转与荧光屏上光点的偏转完全一致，也就是严格“同步”。 荧光屏的尺寸是固定的，因此加到显像管上的偏转信号强度不变，而加到扫描线圈上的信号强度通过一个衰减网络而可改变，使其对电子束的偏转幅度产生变化，因而也就使总的放大倍率发生改变，这样可以很方便地连续放大或缩小。扫描电镜的放大倍率在20－30万倍之间迅速改变。

扫描电镜的信号接收系统称为检测器。透射电镜是电子直接成像，扫描电镜则要配以不同的检测器，以得到样品的不同信息。如最常用的二次电子检测器为闪烁体－光导管—光电倍增管系统。这种检测器灵敏度高，信噪比大，信号转换效率高。

由三极电子枪所发射出来的电子束(一般直径约50um)，在加速电压的作用下(2—30kV之间)，经过三个电磁透镜(或两个电磁透镜)，会聚成一个细小到5nm的电子束，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，使电子探针在试样表面做光栅状扫描(光栅线条的数目取决于行扫描和帧扫描速度)。由于高能电子与物质的相互作用，结果在试样上产生各种信息如二次电子、背反射电子、俄歇电子、X射线、阴极发光、吸收电子和透射电子等。因为从试样中所得到各种信息的强度和分布各自同试样的表面形貌、成分、晶体取向、以及表面状态的一些物理性质(如电性质、磁性质等)等因素有关，因此，通过接收和处理这些信息就可以获得表征试样形貌的扫描电子像，或进行晶体学分析和成分分析。

为了获得扫描电子像，通常是用探测器把来自试样表面的信息接收再经过信号处理系统和放大系统变成信号电压，最后输送到显像管的栅极，用来调制显像管的亮度。因为在显像管中的电子束和在镜筒中的电子束是同步扫描的，其亮度是由试样所发回的信息的强度来调制，因而可以得到一个反映试样表面状况的扫描电子像。

在上述各种类型图像中，以二次电子像，背反射电子像用途最广，这就是通常所称的扫描电镜。

扫描电镜的基本结构

扫描电镜大体上由三大系统组成：即电子光学系统、信息接收显示系统和真空系统。这和透射电镜类似，但有两个独特的部件——扫描系统和信号接收系统。
扫描系统可以使电子束作光栅扫描运动。由于加到显像管偏转线圈上的锯齿波信号与加到扫描线路上的锯齿波信号是由同一个信号发生器产生的。即镜筒内电子束的偏转与荧光屏上光点的偏转完全一致，也就是严格“同步”。 荧光屏的尺寸是固定的，因此加到显像管上的偏转信号强度不变，而加到扫描线圈上的信号强度通过一个衰减网络而可改变，使其对电子束的偏转幅度产生变化，因而也就使总的放大倍率发生改变，这样可以很方便地连续放大或缩小。扫描电镜的放大倍率在20－30万倍之间迅速改变。

扫描电镜的信号接收系统称为检测器。透射电镜是电子直接成像，扫描电镜则要配以不同的检测器，以得到样品的不同信息。如最常用的二次电子检测器为闪烁体－光导管—光电倍增管系统。这种检测器灵敏度高，信噪比大，信号转换效率高。

由三极电子枪所发射出来的电子束(一般直径约50um)，在加速电压的作用下(2—30kV之间)，经过三个电磁透镜(或两个电磁透镜)，会聚成一个细小到5nm的电子束，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，使电子探针在试样表面做光栅状扫描(光栅线条的数目取决于行扫描和帧扫描速度)。由于高能电子与物质的相互作用，结果在试样上产生各种信息如二次电子、背反射电子、俄歇电子、X射线、阴极发光、吸收电子和透射电子等。因为从试样中所得到各种信息的强度和分布各自同试样的表面形貌、成分、晶体取向、以及表面状态的一些物理性质(如电性质、磁性质等)等因素有关，因此，通过接收和处理这些信息就可以获得表征试样形貌的扫描电子像，或进行晶体学分析和成分分析。

为了获得扫描电子像，通常是用探测器把来自试样表面的信息接收再经过信号处理系统和放大系统变成信号电压，最后输送到显像管的栅极，用来调制显像管的亮度。因为在显像管中的电子束和在镜筒中的电子束是同步扫描的，其亮度是由试样所发回的信息的强度来调制，因而可以得到一个反映试样表面状况的扫描电子像。

在上述各种类型图像中，以二次电子像，背反射电子像用途最广，这就是通常所称的扫描电镜。