C、O大概是污染的有机物造成的。

Ca和S或许是你用了蒸馏水，有些水里面有CaSO4的。

Si据说可能是EDS探头晶体里造成的。

能谱只出现Cu，而且信号较弱，原因是样品未放在膜正面上（样品放反了），粉体样品放反对TEM观察没有影响，但对能谱测试结果有影响。

测出Si等不存在元素的问题，我曾做过碳膜（没有样品）的能谱测试，出现过少量Si、Cr、Os，你可以试试

通常对于X-ray发射有个最佳角度，所以能谱都有个最佳接收角，能谱与光轴的角度不变，所以通常通过增加a倾转角来实现，否则，特别是在负角度时信号很弱，而且有可能收集到样品上发出的二次电子或背散射电子打到电镜极靴或别的地方所发出的信号，如Fe、Cr等。对于微栅支持网上的样品，EDX结果有Cu和C是不稀奇的。

C、O大概是污染的有机物造成的。

Ca和S或许是你用了蒸馏水，有些水里面有CaSO4的。

Si据说可能是EDS探头晶体里造成的。

能谱只出现Cu，而且信号较弱，原因是样品未放在膜正面上（样品放反了），粉体样品放反对TEM观察没有影响，但对能谱测试结果有影响。

测出Si等不存在元素的问题，我曾做过碳膜（没有样品）的能谱测试，出现过少量Si、Cr、Os，你可以试试

通常对于X-ray发射有个最佳角度，所以能谱都有个最佳接收角，能谱与光轴的角度不变，所以通常通过增加a倾转角来实现，否则，特别是在负角度时信号很弱，而且有可能收集到样品上发出的二次电子或背散射电子打到电镜极靴或别的地方所发出的信号，如Fe、Cr等。对于微栅支持网上的样品，EDX结果有Cu和C是不稀奇的。