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EDS-mapping与EELS-mapping的区别

标签: 分辨率EDS
eels mapping的收集时间还是要短得多,一般在半分钟以内,取决于样品厚度以及所包含的元素。

EDS mapping时间就长的多了,尤其是如果想得到比较确定的数据的话,一个线扫就可以耗费半个小时。EDS mapping的分辨率不仅取决于束斑尺寸,由于收集时间比较长,样品漂移的影响更大,所以比eels mapping 差不少。

对于纳米材料尤其是10纳米一下的材料,个人认为,几乎用不上,主要还是要靠eels mapping.


semtem

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