严格来说，常规的TEM及使用的薄样品，样品对电子的“吸收”非常非常的小，质厚衬度主要来源于电子被大角散射到光阑以外去了，而不是吸收。因此质厚衬度主要受加速电压和使用光阑的大小决定。具体需要计算某一电压下的散射截面。

如果仅考虑弹性散射，那么散射截面已经由电子的原子散射因子给出了。这里需要关注的是大角度的非相干散射(常规的明场，暗场衍衬像及高分辨相干像主要是小角的相干散射），大角度的散射主要是原子核的散射贡献的，如果忽略了核外屏蔽电子的散射（核外屏蔽电子的电子-电子散射主要集中在小角度)，因此也简化为了卢瑟福散射截面，(当然对较大的原子序数卢瑟福散射被更严格的Mott 散射所替代)。因此从卢瑟福散射截面或者电子的原子散射因子均能得到大角度的散射截面。你可以试着计算一下。

当然非弹性散射也是要考虑的，特别是大角情况下。

知道散射截面的情况下，具体电子在样品中路径的计算还要通过Monte Carlo模拟。一般SEM和电子束曝光用的比较多，也应该有很多现成的结果。TEM中用的不多。这里有个在线模拟的

http://www.matter.org.uk/tem/electron_scattering.htm

但是样品比较厚，最小从5微米开始，呵呵。不过还是可以看出，散射仍然以前向散射为主，当然如果考虑物镜光阑的大小，仍然落在物镜光阑中的电子应该不多了。

写得很不错啊！支持！