三者都是点源逐点扫描成像，通过控制扫描范围和扫描速度，调节放大倍数和图像质量，其主要区别如下：

1、极限分辨率不同, 缘于放大信号源的差异

      激光共聚焦：极限分辨率  150nm.  采用极纯单色短波可见光做光源成像，通过更换物镜可改变分辨率和图像质量。

      扫描电镜：根据电子枪发射原理不同，当前技术的极限分辨率20nm~0.8nm. 采用电子光学成像。主要通过改变电磁透镜的焦距来改变分辨率。

      原子力显微镜：极限分辨率0.1nm，采用杠杆放大激光测距成像！扫描针尖的曲率半径决定分辨率。

2、扫描驱动方式不同

     激光共聚焦：激光光源非常细，使用计算机控制的激光转镜控制激光扫描范围和扫描速度，从而控制放大倍数和图像质量。

     扫描电镜：计算机控制的扫描线圈控制电子束扫描范围和扫描速度，从而调节放大倍数和图像质量。

     原子力显微镜：计算机控制的压电位移传感器驱动样品台X,Y 方向扫描，实现扫描范围和扫描速度调控，从而改变放大倍数和图像质量。

3、立体成像的差别

      激光共聚焦：通过纳米精度步进电机驱动样品在Z轴方向逐层成像，然后软件将设定的各层图像合成清晰立体图像。

                           图像景深是Z周驱动范围决定.

       扫描电镜： 单帧图像具有很大景深，但属于二维图像，通过立体对技术可实现三维成像。

       原子力显微镜：成像的本质就是测量表面每个像素点的高低，描绘出立体形貌。所以每个像素Z方向的数据必须是精确的，否则形貌不准确。传统采用管式驱动器，X/Y方向摇摆扫描，造成图像失真，再现性差。最新的采用独立X、Y扫描驱动器，形貌精确。

4、工作环境差别

      激光共聚焦和原子力显微镜可以在大气环境中进行测试样品

      一般扫描电镜必须在高真空环境下进行测试样品

5、应用范围差别

     激光共聚焦：几倍    ~ 几千倍，样品制备简单

     扫描电镜 ：几倍~几十万倍，样品制备稍微复杂一些，但总体也很简单

     原子力显微镜：几万倍~几千万倍， 要求样品非常平坦，样品制备很难。例如A4纸过于粗糙，无法观测。

6、价格差别

      激光共聚焦：10-20万美元   

      原子力显微镜：5~20万美元

      扫描电镜：6~70万美元

三者都是点源逐点扫描成像，通过控制扫描范围和扫描速度，调节放大倍数和图像质量，其主要区别如下：

1、极限分辨率不同, 缘于放大信号源的差异

      激光共聚焦：极限分辨率  150nm.  采用极纯单色短波可见光做光源成像，通过更换物镜可改变分辨率和图像质量。

      扫描电镜：根据电子枪发射原理不同，当前技术的极限分辨率20nm~0.8nm. 采用电子光学成像。主要通过改变电磁透镜的焦距来改变分辨率。

      原子力显微镜：极限分辨率0.1nm，采用杠杆放大激光测距成像！扫描针尖的曲率半径决定分辨率。

2、扫描驱动方式不同

     激光共聚焦：激光光源非常细，使用计算机控制的激光转镜控制激光扫描范围和扫描速度，从而控制放大倍数和图像质量。

     扫描电镜：计算机控制的扫描线圈控制电子束扫描范围和扫描速度，从而调节放大倍数和图像质量。

     原子力显微镜：计算机控制的压电位移传感器驱动样品台X,Y 方向扫描，实现扫描范围和扫描速度调控，从而改变放大倍数和图像质量。

3、立体成像的差别

      激光共聚焦：通过纳米精度步进电机驱动样品在Z轴方向逐层成像，然后软件将设定的各层图像合成清晰立体图像。

                           图像景深是Z周驱动范围决定.

       扫描电镜： 单帧图像具有很大景深，但属于二维图像，通过立体对技术可实现三维成像。

       原子力显微镜：成像的本质就是测量表面每个像素点的高低，描绘出立体形貌。所以每个像素Z方向的数据必须是精确的，否则形貌不准确。传统采用管式驱动器，X/Y方向摇摆扫描，造成图像失真，再现性差。最新的采用独立X、Y扫描驱动器，形貌精确。

4、工作环境差别

      激光共聚焦和原子力显微镜可以在大气环境中进行测试样品

      一般扫描电镜必须在高真空环境下进行测试样品

5、应用范围差别

     激光共聚焦：几倍    ~ 几千倍，样品制备简单

     扫描电镜 ：几倍~几十万倍，样品制备稍微复杂一些，但总体也很简单

     原子力显微镜：几万倍~几千万倍， 要求样品非常平坦，样品制备很难。例如A4纸过于粗糙，无法观测。

6、价格差别

      激光共聚焦：10-20万美元   

      原子力显微镜：5~20万美元

      扫描电镜：6~70万美元