用多种方法可以制备微米二氧化硅颗粒。微米二氧化硅粉体有着广泛的用途。对微米二氧化硅颗粒微观结构的研究工作文献报道很少。用RTO表证法可以直接从微米二氧化硅颗粒中切取可供透射电子显微镜研究的薄膜。图2-314为微米二氧化硅颗粒薄膜低倍的透射电子显微镜照片。图2-315为微米二氧化硅颗粒薄膜低倍的投射电子显微镜照片。图2-316为单个微米二氧化硅颗粒薄膜的透射电子显微镜照片。从图中可以看到微米二氧化硅颗粒中存在大量纳米尺度的分子筛微孔，在透射电子显微镜电子束照射下，微米二氧化硅颗粒薄膜不稳定，分子筛微孔直径随着电子束照射时间的延长逐渐扩大。图2-317为微米二氧化硅薄膜局部的透射电子显微镜照片，由2-317可见，二氧化硅颗粒薄膜在电子束照射下，颗粒薄膜中心部分分子筛孔径较大。微米二氧化硅颗粒中的分子筛微孔是互相连通的。离子尺度的质点可以从微米二氧化硅颗粒表面进入内部微孔中。图2-318是用离子交换法分别把镉离子和硫离子引入微米二氧化硅颗粒微孔中所形成的CdS纳米团簇的透射电子显微镜照片。CdS纳米团簇在微米二氧化硅颗粒中的分布基本上是均匀的。

资料来源：方克明纳米表征实验室

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