本帖最后由 angela 于 2015-4-6 16:49 编辑
1、田民波,薄膜技术与薄膜材料,清华大学出版社,2006
2、M.Ohring,薄膜材料科学(第2版影印本),世界图书出版公司,2006
3、杨帮朝,薄膜物理与技术,电子科技大学出版社,2006
4、戴达煌,现代表面技术科学,冶金工业出版社,2004
5.郑伟涛:薄膜材料与薄膜技术(第2版), 化学工业出版社,2008
首先要区分涂层和薄膜
固态薄膜的概念:
① 相对尺度:某一维尺寸 << 其余二维尺寸;
② 绝对尺度:在此维度上材料厚度 < 1~5 微米
涂层:厚度 > 5 微米 的沉积层
不过有些文献里,涂层和薄膜是混用的~
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